上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目国际招标公告(2)

作者:电子游戏  来源:电子游戏下载  时间:2019-10-08 13:25  点击:

  受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2019-09-30公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。

  序号产品名称数量简要技术规格备注0714-1840SHJT0001/1126吋晶圆厂合金工艺生产机台;6吋晶圆厂薄膜高温 density生产机台;6吋晶圆厂Furnace Poly 工艺生产机台;6吋晶圆厂Polymide Baking工艺生产机台;6吋晶圆厂BPSG Reflow工艺生产机台;6吋晶圆厂Furnace TEOS Deposition 工艺生产机台1台;1台;1台;1台;1台;1台设备要求结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。CNY5000/USD8500714-1840SHJT0001/1146寸碳化硅晶圆多晶硅/氮化膜刻蚀(POLY/NITRIDE ETCH)工艺生产机台;6寸碳化硅氧化膜刻蚀(Oxide ETCH)制造工艺生产机台;6寸碳化硅氧化膜刻蚀(Oxide ETCH)制造工艺生产机台;6吋碳化硅金属刻蚀(Metal Etch)制造工艺生产机台1台;1台;1台;1台设备要求结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。CNY3000/USD4800714-1840SHJT0001/115150mm碳化硅片湿法铝和镍去除工艺生产机台;150mm碳化硅片碳清洗工艺生产机台;150mm碳化硅片氧化物去除工艺生产机台;150mm碳化硅片湿法聚合物去除工艺生产机台;50mm碳化硅片后道去胶和钛去除工艺生产机台;150mm碳化硅片湿法前道去胶艺生产机台;150mm碳化硅片预清洗工艺生产机台;150mm碳化硅片预清洗工艺生产机台;150mm碳化硅片湿法控片回收清洗工艺生产机台1台;1台;1台;1台;1台;1台;1台;1台;1台设备要求结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。CNY20000/USD32500714-1840SHJT0001/1196寸碳化硅晶圆PECVD工艺生产机台2台设备要求结构设计合理,采用先进成熟技术,保证系统具有良好的动态品质,在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行组件精度高,可靠性好,响应速度快。设备使用、操作、维修方便,造型美观,结构紧凑,整机运行稳定可靠,售后服务优良。CNY3000/USD480

  投标人应具备的资格或业绩:投标人应是响应招标、已在招标机构处领购招标文件,并参加投标竞争的法人或其他组织。凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区的法人或其他组织均可投标。

  其他说明:招标文件售价详见产品列表备注栏;领购具体时间:上午9:00~11:30,下午13:00~16:30(北京时间)(节假日除外)

  注:投标人未曾首先在中国招标与采购网/注册会员的投标单位应先注册供应商会员;登录成功后根据招标公告的相关说明获取招标文件! 项目联系人:王 斌

  为保证您能够顺利投标,请在投标或购买招标文件前向招标代理机构或招标人咨询投标详细要求,具体要求及项目情况以招标代理机构或招标人的解释为准 。返回搜狐,查看更多

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